特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門(mén)一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強的EP管。

在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統一般遵循管道線(xiàn)路最短,拐彎最少,布置緊湊合理,給人簡(jiǎn)單美觀(guān)的感覺(jué)。輸送系統的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設計了備用系統。由于氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設在電纜橋架里，對于穿墻或穿過(guò)夾道的地方，周?chē)形ｋU源和經(jīng)常有危險作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。

對于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì )考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調節閥。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設計要采用零死區設計，即整個(gè)管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統中由VMB完成氣體的分配，中間沒(méi)有三通。最后管道還要有良好的接地。

氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過(guò)程中由于搬運和震動(dòng)，閥門(mén)、接頭、過(guò)濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。