閥門(mén)與切換面板的技術(shù)要求
1、減壓閥、半/全自動(dòng)切換控制面板、隔膜閥的進(jìn)氣口、出氣口連接宜采用 60°密封管螺紋(NPT 螺紋)或面密封接頭,60°密封管螺紋(NPT 螺紋)應符合 GB/T 12716 的相關(guān)規定。
2、球閥、針閥、單向閥、泄壓閥的進(jìn)氣口、出氣口連接宜采用 60°密封管螺紋(NPT 螺紋)、焊 接管、卡套連接,60°密封管螺紋(NPT 螺紋)應符合 GB/T 12716 的規定,卡套連接應符合 ASTM F1387 —19 的相關(guān)規定。
3、減壓閥、半/全自動(dòng)切換控制面板、隔膜閥、球閥、針閥、單向閥、泄壓閥所有與氣體接觸的零 件應經(jīng)過(guò)超聲波清洗,以達到去除雜質(zhì)和脫油脫脂的效果,清洗結果應符合 ASTM G93—2011 中11.4.3 LV-C 的相關(guān)規定。
4、減壓閥、半/全自動(dòng)切換控制面板、隔膜閥的進(jìn)氣口側宜配置 316L 過(guò)濾網(wǎng)或過(guò)濾片,其過(guò)濾精度不低于 150 µm,以防止雜質(zhì)進(jìn)入閥內對閥座產(chǎn)生不可逆的損傷。
5、半/自動(dòng)切換面板應配置兩塊進(jìn)氣壓力表,分別指示左右兩側氣源的壓力。
6、半/自動(dòng)切換面板應配置一塊出氣壓力表,指示自動(dòng)切換面板的出氣壓力。
7、半/自動(dòng)切換面板出氣口應配置泄壓閥。
8、 半自動(dòng)切換面板應實(shí)現雙側不間斷供氣的使用要求,配置要求應符合圖 1 的規定。
標引序號說(shuō)明:
1——進(jìn)氣隔膜閥;
2——排空隔膜閥;
3——左側減壓閥;
4——聯(lián)動(dòng)切換組件;
5——右側減壓閥(分離式手柄或手輪);
6——泄壓閥。
9、全自動(dòng)切換面板應滿(mǎn)足全自動(dòng)實(shí)現雙側不間斷供氣的使用要求,配置要求應符合圖 2 的規定。
標引序號說(shuō)明:
1——進(jìn)氣隔膜閥;
2——排空隔膜閥;
3——減壓閥;
4——泄壓閥;
5——全自動(dòng)切換器。
10、帶吹掃功能的半自動(dòng)切換面板應滿(mǎn)足雙側不間斷供氣的使用要求,并提供吹掃用隔膜閥和單向 閥,配置要求應符合圖 3 的規定。
標引序號說(shuō)明:
1——進(jìn)氣隔膜閥;
2——排空隔膜閥;
3——減壓閥;
4——泄壓閥;
5——聯(lián)動(dòng)切換組件;
6——分離式手柄或手輪;
7——吹掃閥;
8——單向閥。
11、半/全自動(dòng)切換面板上應包含左右兩側的進(jìn)氣隔膜閥及排空隔膜閥。在更換氣源時(shí)導致進(jìn)氣隔 膜閥前端高壓連接管內氣體被空氣污染的情況下,打開(kāi)氣源將高純氣體通入連接管,再使用排空隔膜閥 將污染氣體排空。帶吹掃功能的半自動(dòng)切換面板上除左右兩側進(jìn)氣隔膜閥及排空隔膜閥外,配置專(zhuān)用的吹掃閥和單向閥,可實(shí)現引入第三方氣體對半自動(dòng)切換面板前端氣體管路進(jìn)行吹掃。
12、 半自動(dòng)切換面板正常工作時(shí),一側為主供氣側,另一側為備供氣側。優(yōu)先從主供氣側氣源供氣,隨著(zhù)主供氣側氣源壓力下降到設定值時(shí),備供氣側自動(dòng)進(jìn)行供氣。當更換主供氣側氣源時(shí),應手動(dòng)調整分離式手柄或手輪,或聯(lián)動(dòng)切換組件,使主供氣側與備供氣側進(jìn)行交換,進(jìn)而保證左右兩側氣源輪流供氣。
13、全自動(dòng)切換面板上的自動(dòng)切換功能由全自動(dòng)切換器來(lái)實(shí)現。全自動(dòng)切換器為機械結構。隨著(zhù)供氣側氣源的持續供氣,當氣源壓力降到面板的設定值時(shí),自動(dòng)切換到另一供側進(jìn)行供氣。自動(dòng)實(shí)現左右兩側氣源輪流供氣。