半導體實(shí)驗室氣路在實(shí)驗室中，可以提供熱源的氣體一般是：天然氣、煤氣、液化氣等，使用這種燃氣主要就是用于試樣熔融分解和一些玻璃器皿制造，也能用在煤氣沙浴。它的使用場(chǎng)所一般是在試驗臺或者實(shí)驗室通風(fēng)柜中，但是在試驗臺上使用，要保證臺面耐高溫和設計原子吸收或其他排氣裝置，同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃氣體都具有高危險性，進(jìn)行氣體管路的設計和安裝時(shí)要達到國家的要求標準、行業(yè)規范，非專(zhuān)業(yè)工程師不得隨意改動(dòng)和安裝，以免氣體泄漏，造成事故的發(fā)生。

　　半導體實(shí)驗室氣路系統的維護事項：

　　1、對庫存、備用或因任務(wù)不足需要封存一段時(shí)間的儀器設備要定期清潔、查點(diǎn)、進(jìn)行防塵、防銹、防潮等方面的維護。

　　2、各實(shí)驗室必須建立嚴格的崗位責任制，系統根據所使用儀器設備的特點(diǎn)和要求，制定相應的維護保養措施，并認真落實(shí)，使儀器設備的維護保養做到經(jīng)?；?、制度化。

　　3、要加強對實(shí)驗技術(shù)人員以及學(xué)生的基本操作訓練，使他們熟悉儀器設備性能特點(diǎn)，掌握基本操作方法，避免因操作不當或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設備使用，要嚴格執行持證上崗的制度，嚴禁未經(jīng)培訓、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。

　　半導體實(shí)驗室氣路發(fā)生故障的原因：

　　1、外部因素不正常所引起的故障；

　　2、人為的操作使用過(guò)程不當引起的故障；

　　3、自身內部某些元件質(zhì)量缺陷引起的故障。